技術紹介 低金属化

低金属管理製品

■グリコールエーテル

低金属管理された高品質グリコールエーテルは、半導体や液晶などの製造プロセスにおいて、フォトレジスト、剥離剤、洗浄剤、エッチング剤などの溶剤として広く利用されています。当社は各金属を数ppbレベルに管理した高品質なグリコールエーテルを豊富に取り揃えており、構造や沸点を広範囲で選択可能です。また、原料調達、合成、蒸留を一貫して行いトレーサビリティの体制を整えることで電子材料業界のお客様からの厳しい品質管理要求に応えています。
更なる管理体制の充実により、pptレベルの管理の実現を目指しています。

■アミン

当社で製造しているアミンにおいても、低金属管理を行っています。
添加剤として、半導体製造プロセス薬剤に使用されています。
当社で生産していないアミン類に関しましても、精製によりお客様のご要望にお応えできる低金属管理品を提供できますので、お気軽にご相談ください。

分析機器の紹介

極微量濃度の元素を分析することができる分析装置『Agilent Technologies社製 Agilent 8900トリプル四重極ICP-MS』をR&Dセンター内クリーンルームに導入しています。

本分析装置導入によりpptレベルでの分析精度の更なる向上をはかり、お客様のご要望にお応えできる低金属管理グレード品の研究開発に注力しています。

また、当社は川崎工場、鹿島工場にそれぞれ1台づつシングルICP-MSを保有しており、金属管理品を迅速に分析可能です。

代表的な低金属管理製品

■<金属管理品> Trace Metals Grade

品名
Product
name
構造式
Structural Formula
CAS No.
(UN No.)
金属規格値
(ppb)
Specification
沸点 (℃)
Boiling Point
(1013 hPa)
引火点 (℃)
Flash Point
MDG
(金属管理品)
111-77-3 ≦10 194 105
BDG
(金属管理品)
112-34-5 ≦10 231 120
MFG
(金属管理品)
107-98-2 ≦10 121 32
PFG
(金属管理品)
1569-01-3 ≦10 150 49
BFG
(金属管理品)
5131-66-8 ≦10 170 62
BzDG
(金属管理品)
2050-25-1 ≦10 302 158
MEDG
(金属管理品)
1002-67-1 ≦10 176 64
DEDG
(金属管理品)
112-36-7 ≦10 189 71
EA
(金属管理品)
111-41-1 ≦10 246 151

上記に記載のない製品もございます。詳しくは当社までお問い合わせ下さい。
We have various products other than the above. Please contact us about details.

ページトップ